精工造纯水 | 瀚高中联赋能化合物半导体研发生产平台 搭建电子级超纯水系统

精工造纯水 | 瀚高中联赋能化合物半导体研发生产平台 搭建电子级超纯水系统

    伴随化合物半导体产业快速发展，适配制程的超纯水系统，是芯片研发与晶圆生产的核心配套设施，水质优劣直接关乎半导体产品良率。近日，瀚高中联为化合物半导体研发生产平台定制的电子级超纯水项目，已完成安装调试并正式投产。

    本项目配置10m³/h半导体生产超纯水、5m³/h空调专用RO水两大供水单元，由瀚高中联提供设备研发、方案定制、全周期服务一站式整体交付。系统以自来水为原水，依照半导体行业通用标准搭建深度净化体系，覆盖研发量产、设备冷却、车间空调等全用水场景，为半导体产业发展赋能。

科创深耕，攻克半导体行业用水核心刚需

    超纯水贯穿化合物半导体全生产工序，相较于传统工业用水，其水质指标约束严格：出水电阻率需≥18.2MΩ.cm，同时对颗粒物、TOC、溶解氧、二氧化硅等多项数值划定明确阈值，任一指标不达标，都会直接影响芯片成品质量。

    除此之外，水体中溶解的二氧化碳、氧气、氮气等气体，是半导体制程常见隐性风险，易造成电阻率波动、管道腐蚀、仪器计量失准等问题，制约正常生产作业。

    结合原水水质、车间工况及项目用水规模，瀚高中联技术团队摒弃通用化方案，定制专属水处理解决方案。系统采用多段式净化工艺，逐层去除水中杂质、离子、气体与有机物，产出合规超纯水，适配半导体研发及规模化生产需求。

工艺多维升级，优化水处理运行体系

    针对行业用水痛点，本系统整合成熟水处理、膜脱气、洁净输配等技术，从水质净化、气体脱除、管路输送、设备运维多维度优化，匹配高精尖制造的生产标准。

一、全链路分级净化，管控各项水质指标

    系统实行分级净化模式：预处理单元过滤悬浮物与大颗粒杂质；双级反渗透脱除大部分离子与有机物；EDI系统完成深度除盐，筑牢基础水质纯度，各单元联动协作净化效率。

    项目搭载专用膜脱气装置，可分离水中溶解气体，脱气效率超90%。后续搭配TOC脱除器、抛光混床及终端过滤器，完成有机碳降解、水质提纯与微量杂质拦截，稳定出水品质。

二、差异化管道选材，规避水体二次污染

    为规避输水环节二次污染，项目依据用水类型差异化选配管材，适配不同使用场景：

    1. 工艺用水管路采用PVDF管材，低析出、耐腐蚀，适配半导体制程纯水输送；

    2. 辅助管路采用CleanPVC洁净管材，适配百级至千级洁净室，用于空调RO水及辅助用水输送。

三、双单元独立供水，适配多元生产负荷

    两套供水单元独立运行：10m³/h超纯水用于芯片研发生产，支持全天候连续供水；5m³/h RO水用于洁净车间空调系统，分工明确，匹配园区多元化用水负荷。

深耕细分赛道，共建科创产业发展新格局

    瀚高中联业务覆盖多行业水处理领域，深耕半导体赛道多年，针对芯片、面板、电子等产业，定制多样化水处理解决方案，凭借可靠的产品与一站式服务，收获市场广泛认可。

    本次合作是企业深耕电子制造领域的重要布局。目前整套系统运行平稳，各项核心水质参数均达标，可充分满足平台研发与规模化生产需求。

    水是半导体产业的核心生产要素。未来，瀚高中联将持续深耕技术研发，优化水处理解决方案，聚焦高精尖行业用水需求，推出高适配、低能耗的一体化净水产品。

长效售后赋能，助力企业稳定生产

    在售后层面，瀚高中联建立常态化巡检维保机制，提供终身技术咨询与运维服务，降低企业生产运维顾虑。

    未来，企业将持续深耕水处理赛道，助力各产业转型升级，与行业伙伴携手共赢。